Pressemitteilung der Uni Dresden

Dresden/Oberkochen, 29. Januar 2009. Morgen übergibt Carl Zeiss SMT das
1.500ste Rasterelektronenmikroskop vom Typ GEMINI^® an. das „Center for
nondestructive nano evaluation - nanoeva^® “ in Dresden. Nanoeva^® ist
eine Gemeinschaftseinrichtung des Instituts für Aufbau- und
Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) der TU Dresden und des
Fraunhofer Instituts für zerstörungsfreie Prüfverfahren (IZFP–D) mit
seinem Dresdner Institutsteil. Wesentliches Einsatzgebiet des
Elektronenmikroskops bei nanoeva^® werden Forschungen für die Aufbau-
und Verbindungstechnik von elektronischen und mikrotechnischen Modulen
für die Systemintegration sein. Der dabei auftretende Materialmix von
Silizium bis hin zu Kunststoffen erfordert angepasste
Untersuchungsmethoden.

Das speziell für nanoeva^® konfigurierte System bietet eine besondere
Kombination von hochauflösender Abbildung von Probendetails mit
zahlreichen Analysemöglichkeiten, wie zum Beispiel chemische
Elementanalyse oder Größen- und Abstandsmessung mit Genauigkeiten im
Millionstelmillimeterbereich. Der Leiter des Produktmanagements
Elektronenmikroskopie bei Carl Zeiss, Dr. Thomas Albrecht, hebt hervor:
„1.500 Rasterelektronenmikroskope vom Typ GEMINI^® spiegeln nicht nur
das hohe Vertrauen der Kunden in diese Technologie und deren Nutzen,
sondern bieten auch die Chance, sich mit zahlreichen Anwendern weltweit
zu vernetzen und Erfahrungen für eine optimale Bedienung auszutauschen.
Eine Aufgabe, in die wir natürlich auch die langjährige Expertise
unserer Applikationsspezialisten einbringen. Wir stehen für den
Anspruch, der Probe möglichst viele Informationen zu entlocken.“

Prof. Klaus-Jürgen Wolter vom IAVT an der TU Dresden erläutert:

„Spitzenforschung für die Mikro- und Nanotechnologien benötigt
hochleistungsfähige Werkzeuge zur Analyse und Visualisierung von Proben.
Das GEMINI^® Rasterelektronenmikroskop von Carl Zeiss ergänzt die Reihe
unserer Untersuchungswerkzeuge ideal. Sowohl für eigene Arbeiten als
auch für Kundenaufträge können wir jetzt aus dem sprichwörtlich Vollen
schöpfen. Die Brücke von Forschung und Lehre zu industrieller
Entwicklung ist damit noch breiter und leistungsfähiger geworden.“

Die Einweihungsveranstaltung beginnt am Freitag, den 30. Januar 2009 um
13.00 Uhr im Barkhausenbau der TU Dresden, Hörsaal 205.

GEMINI^® Technologie

Die GEMINI^® Technologie für Rasterelektronenmikroskope (REM) ist seit
1994 im Einsatz und viele technische Lösungen und Anwendungen sind für
Carl Zeiss patentiert. Der spezielle Aufbau der Elektronenstrahlsäule
bietet neben einer hohen Detailauflösung beispielsweise die Möglichkeit
auch magnetische Proben zu untersuchen, was bei REM anderer Bauweise nur
zu unbefriedigenden Ergebnissen führt. 1.500 Systeme mit dieser
Technologie sind mittlerweile weltweit in Industrie, Forschung und Lehre
installiert und helfen bei der Erforschung des Nanokosmos. Insbesondere
die Bereiche Materialforschung, Life Sciences und Halbleitertechnologie
sowie die Nanotechnologien profitieren von den Vorteilen der GEMINI^®
Technologie.

PI Nr. 0032-2009-GER
Januar 2009

Über Carl Zeiss SMT

Basierend auf einem weltweit führenden Know-how in licht-, elektronen-
und ionenoptischen Technologien bietet Carl Zeiss SMT seinen Kunden in
der Industrie sowie in Forschung und Entwicklung ein breites Portfolio
von Produkten, Serviceleistungen und Applikationslösungen an. Einsatz
finden die marktführenden Systeme und Lösungen der Carl Zeiss SMT in den
sich gegenseitig stärkenden Anwendungsfeldern der Nanotechnologie wie
der Halbleitertechnik, der Materialforschung und den Life Sciences. Die
weltweite Kundengemeinschaft wächst kontinuierlich. Als
Innovationsführer für Lithographieoptik sowie optischen und
partikelstrahlbasierten Inspektions-, Analyse- und Messsystemen öffnet
Carl Zeiss SMT den Kunden zukunftsweisende Wege in industriellen
Produktionsumgebungen, der Qualitätssicherung sowie der industriellen
und universitären Forschung und Entwicklung. Zusammen mit
Tochtergesellschaften in Deutschland, England, Frankreich, USA, Israel
und Singapur beschäftigt die internationale Unternehmensgruppe über
2.500 Mitarbeiter. Im Geschäftsjahr 2007/2008 erwirtschaftete das
100%-ige Tochterunternehmen der Carl Zeiss AG einen Umsatz von über
1.000 Millionen Euro. Weitere Informationen: www.smt.zeiss.com

 

Informationen für Journalisten:
Markus Wiederspahn
Carl Zeiss SMT AG
Public Relations
Tel.: +49 7364 20-2194
Fax: +49 7364 20-9206


 

 



 

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